Proces rozpylania polega na odparowaniu materiału źródłowego, zwanego tarczą, w celu osadzenia cienkiej, wysokowydajnej warstwy na produktach takich jak półprzewodniki, szkło i wyświetlacze. Skład tarczy bezpośrednio definiuje właściwości powłoki, dlatego wybór materiału ma kluczowe znaczenie.
Do produkcji stosuje się szeroką gamę metali, z których każdy dobierany jest ze względu na określone zalety funkcjonalne:
Metale fundamentowe dla elektroniki i warstw pośrednich
Miedź o wysokiej czystości jest ceniona za wyjątkową przewodność elektryczną. Cele o czystości miedzi 99,9995% są niezbędne do tworzenia mikroskopijnych połączeń (połączeń) wewnątrz zaawansowanych mikroprocesorów, gdzie minimalna rezystancja elektryczna ma kluczowe znaczenie dla szybkości i wydajności.
Nikiel o wysokiej czystości to wszechstronny materiał roboczy. Jest stosowany przede wszystkim jako doskonała warstwa adhezyjna i niezawodna bariera dyfuzyjna, zapobiegając mieszaniu się różnych materiałów i zapewniając integralność strukturalną oraz trwałość urządzeń wielowarstwowych.
Metale ogniotrwałe, takie jak wolfram (W) i molibden (Mo), są cenione ze względu na wysoką odporność cieplną i stabilność, często stosowane jako solidne bariery dyfuzyjne oraz do styków w wymagających środowiskach.
Specjalistyczne metale funkcjonalne
Srebro o wysokiej czystości oferuje najwyższą przewodność elektryczną i cieplną spośród wszystkich metali. Dzięki temu idealnie nadaje się do osadzania wysoce przewodzących, przezroczystych elektrod w ekranach dotykowych oraz doskonale odbijających światło powłok niskoemisyjnych na energooszczędnych oknach.
Metale szlachetne, takie jak złoto (Au) i platyna (Pt), są wykorzystywane do produkcji niezawodnych, odpornych na korozję styków elektrycznych oraz specjalistycznych czujników.
Metale przejściowe, takie jak tytan (Ti) i tantal (Ta), odgrywają kluczową rolę ze względu na doskonałe właściwości adhezyjne i barierowe, często tworząc warstwę bazową na podłożu przed zastosowaniem innych materiałów.
Choć ten zróżnicowany zestaw materiałów umożliwia rozwój nowoczesnych technologii, miedź pod względem przewodności, nikiel pod względem niezawodności, a srebro pod względem doskonałego współczynnika odbicia światła pozostają niezrównane w swoich zastosowaniach. Stała jakość tych metali o wysokiej czystości stanowi fundament wysokowydajnych powłok cienkowarstwowych.
Czas publikacji: 24-11-2025
